ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΡΠΎ ΡΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΠΈΠ· ΠΊΠ»Π°ΡΡΠ° ΡΠ°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ². ΠΠ° ΡΠ°ΠΌΠΎΠΌ Π΄Π΅Π»Π΅ ΡΡΠΎ ΡΠ΄ΠΈΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΠΉ Π² ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 27,6% ΠΌΠ°ΡΡΡ Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΡ, Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ Π² ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅. ΠΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠ²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠΈ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·ΡΠΌΠ° β Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, SiO2 (ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ°) ΠΈΠ»ΠΈ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΠ² (SiO4 4- ). Π‘Π°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π» Π±ΡΠ» Π½Π°ΠΉΠ΄Π΅Π½ Π² ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°Ρ Π²ΡΠ»ΠΊΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ΅Π»ΡΡΠ°ΠΉΡΠΈΠ΅ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅.
Π‘Π’Π Π£ΠΠ’Π£Π Π
ΠΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΠΊΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π³ΡΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΡΠΈΠΏΠ° Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°, ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ Π° = 0,54307 Π½ΠΌ (ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ), Π½ΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ SiβSi ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Π‘βΠ‘ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°. ΠΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. Π―Π΄ΡΠ° Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π½Π° Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π·Π°ΡΡΠ΄ΠΎΠΌ 4, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ΅. ΠΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΎΠ½ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Π½Π° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π½Π° Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ΅ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° ΠΈ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°, Π·Π°ΠΈΠΌΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ². ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½ΡΠ»Ρ Π²ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅ΠΊ ΡΡΠ°ΡΡΠ²ΡΡΡ Π² ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΡΠ·ΡΡ . ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ.
Π‘ΠΠΠΠ‘Π’ΠΠ
ΠΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ Π±ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°Π·ΡΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. ΠΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡΡ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ.
ΠΠΠ Π€ΠΠΠΠΠΠ―
Π§Π°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·ΡΠΌΠ° β ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (IV) SiO2 (ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 12 % ΠΌΠ°ΡΡΡ Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΡ). ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»Ρ ΠΈ Π³ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΎΠ΄Ρ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, β ΡΡΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ (ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΠΉ), ΠΊΠ²Π°ΡΡ ΠΈ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠΈΡΡ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Ρ, ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΏΠ°ΡΡ. ΠΡΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡ.
ΠΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Ρ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΠΊΡΡ Π½Π°Ρ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΠ°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅.
ΠΠ ΠΠΠ‘Π₯ΠΠΠΠΠΠΠ
Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌ 27,6β29,5 % ΠΏΠΎ ΠΌΠ°ΡΡΠ΅. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ Π²ΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π² ΠΌΠΎΡΡΠΊΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ 3 ΠΌΠ³/Π». ΠΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Ρ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΠΊΡΡ Π½Π°Ρ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΠ°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ β ΠΌΠ΅Π»ΡΡΠ°ΠΉΡΠΈΠ΅ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ (Π½Π°Π½ΠΎΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄Ρ) Π² ΠΈΠΉΠΎΠ»ΠΈΡΠ°Ρ ΠΠΎΡΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎ-Π³Π°Π±Π±ΡΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π° (ΠΡΠ·Π½Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΠ»Π°ΡΠ°Ρ, ΠΡΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ°ΠΉ); Π² ΠΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈΠΈ ΠΈ Π½Π° ΠΠΎΠ»ΡΡΠΊΠΎΠΌ ΠΏ-ΠΎΠ²Π΅ (ΠΏΠΎ ΠΌΠ°Ρ. ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΠΎΠ»ΡΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΡ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΊΠ²Π°ΠΆΠΈΠ½Ρ); ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π² ΡΡΠΌΠ°ΡΠΎΠ»Π°Ρ Π²ΡΠ»ΠΊΠ°Π½ΠΎΠ² Π’ΠΎΠ»Π±Π°ΡΠΈΠΊ ΠΈ ΠΡΠ΄ΡΡΠ²ΡΠΉ (ΠΠ°ΠΌΡΠ°ΡΠΊΠ°).
ΠΠ ΠΠΠΠΠΠΠΠ
Π‘Π²Π΅ΡΡ ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² (Π½Π΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡ Π΅ΠΌ) ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ. Π§ΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄Ρ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΡΡΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠΈ.
ΠΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΏΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π» Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ².
Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ β ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ β ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΡΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»ΡΠ΅ΠΌΡΠΌΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ) ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ , ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΄Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² (ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΊ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, Π½Π΅ΠΉΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌ ΠΈ Π΄Ρ.). Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΡΡΠ΄Π° ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ.
Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ»ΡΠΆΠ°Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ. ΠΠ½Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅Ρ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΡ β ΠΊΠΈΡΠΏΠΈΡ, ΡΠ°ΡΡΠΎΡ, ΡΠ°ΡΠ½Ρ ΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ . Π¨ΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ΅Π½ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠ»Π΅ΠΉ, ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ Π² ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²Π΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΈΠΊΠΊΠ°ΡΠΈΠ², Π° Π² ΠΏΠΈΡΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ Π² Π±ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π±ΡΠΌΠ°Π³ΠΈ. ΠΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ»Π° ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Ρ β ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ.
Π’Π΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ:
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Si) β ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅, ΡΠΈΠΌΠΏΡΠΎΠΌΡ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠ°, ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Silicium, Si) β Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ°, Π±Π΅Π· ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π³ΡΠ±ΠΊΠΈ ΠΈ Π΄ΠΈΠ°ΡΠΎΠΌΠ΅ΠΈ Π²ΠΎΠΎΠ±ΡΠ΅ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ, Π²Π΅Π΄Ρ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΡ ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈ. ΠΠ°-Π΄Π°, ΠΌΡ ΠΏΡΠΈΠ²ΡΠΊΠ»ΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΡΡΠΈ β ΡΡΠΎ Β«ΠΊΠ°Π»ΡΡΠΈΠΉΒ», Π½ΠΎ ΡΡΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π·Π½Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠ΅ΠΊΠ»Π°ΠΌΡ, Ρ.ΠΊ. Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΊΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ², ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ .
ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ Π·Π΄ΠΎΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠΆΠΈ, Π²ΠΎΠ»ΠΎΡ ΠΈ Π½ΠΎΠ³ΡΠ΅ΠΉ. ΠΠ° ΡΡΠ΅Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΠΊ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ, Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΡΡ ΠΈΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΊΡΡΠΈΠΌΠΈΡΡ Π²ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ, ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΎΠΌΠΊΠΎΡΡΡΡ Π½ΠΎΠ³ΡΠ΅ΠΉ, Π΄ΡΡΠ±Π»ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΆΠ΅ΠΉ ΠΈ ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ°ΠΌ. Π Π΅ΡΠ΅, Si ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠΎΠ²Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ², ΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΄Π΅ΡΠ½ΠΎ-ΡΠΎΡΡΠ΄ΠΈΡΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π·Π½Π΅ΠΉ.
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΆΠ΅ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π»ΡΠ΄Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΈΠΏΠΎΠ² β ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΠΈΠΏΡΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΈΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ. Π‘ΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ, ΠΈ ΡΠ°ΠΌ Π½Π°ΡΡΠ½ΡΠΉ Ρ.Π½. ΡΠ΅Π½ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ°ΠΌ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΊΠ΅ β Β«ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ Π΄ΠΎΠ»ΠΈΠ½Π°Β» (ΠΠ°Π»ΠΈΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ, Π‘Π¨Π).
Π ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΡΠΌΠ΅ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiO2), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π² ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠΈ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ β Β«ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·ΡΠΌΒ» ΠΈΠ»ΠΈ Β«ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡΒ». ΠΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·ΡΠΌ ΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Ρ, ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ°, ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ°ΡΠ° ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΈΡ . Π ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π² ΡΡΠΊΠΈ ΡΡΠ΅Π½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π»ΠΈΡΡ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΊΠ·Π΅ΠΌΠΏΠ»ΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΠ±ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Ρ β ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ½ΡΡΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅ ΡΡΠΎΠΈΡ ΠΏΡΡΠ°ΡΡ. ΠΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΌΠ½Π΅ΠΌ, Π³ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΉ, Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiO2) ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ β ΠΊΠ°Π»ΡΡΠΈΠΉ, ΠΌΠ΅Π΄Ρ, ΠΌΠ°ΡΠ³Π°Π½Π΅Ρ, ΡΠΎΡΡΠΎΡ, ΡΠΈΠ½ΠΊ, ΡΡΡΠΎΠ½ΡΠΈΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ΅. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Ρ β ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Π½Ρ, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ· ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ. ΠΡΠΎΠ΄Π΅ Π·Π²ΡΡΠΈΡ Π±Π°Π½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ, Π½ΠΎ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ΅.
ΠΡΠ΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Si Π½Π° ΠΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΉ! ΠΠ°Π΄ΡΠΌΠ°ΠΉΡΠ΅ΡΡ, ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅ (ΠΊΠ»Π°ΡΠΊ) ΠΏΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡ 27,6 Π΄ΠΎ 29,5% Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΌΠ°ΡΡΡ! 1 Π ΠΈΡΠΎΠ³Π΅, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π½Π° ΠΠ΅ΠΌΠ»Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° (Π), Π° Si ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΡΡΠ°Π·Ρ ΠΆΠ΅ Π·Π° Π½ΠΈΠΌ. Π ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΌΠΎΡΡΠΊΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ 3 ΠΌΠ³ Π½Π° 1Π».
Π‘Π°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠ΅ΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π±Π»Π΅ΡΠΊΠΎΠΌ.
Π‘Π²ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Β«Silicium (ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΡΠΌ)Β» ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ» ΠΎΡ Π»Π°ΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠ²Π° Β«silexΒ», ΡΡΠΎ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ β ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Π½Ρ, ΡΠΊΠ°Π»Π°, ΡΡΠ΅Ρ. Π ΡΡΡΠΊΠΈΠΉ ΠΆΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΠ½ Β«ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΒ» ΡΡΠΎΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ Π² 1834 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΡΡΡΡΠΊΠΈΠΌ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΎΠΌ ΠΠ΅ΡΡΠΎΠΌ ΠΎΡ ΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ»Π°Π²ΡΠ½ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Β«ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΒ», ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°ΡΡΠΈΠΉ β ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Π½Ρ.
ΠΡΡΠΎΡΠΈΡ β ΠΊΡΠ°ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²ΠΊΠ°
ΠΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²ΠΈΠ»ΠΈΡΡ Π² Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ 18 ΡΡ., ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΊ ΠΈΠ· Π¨Π²Π΅ΡΠΈΠΈ ΠΠ΅Π½Ρ Π―ΠΊΠΎΠ± ΠΠ΅ΡΡΠ΅Π»ΠΈΡΡ Π² 1810 Π³ΠΎΠ΄Ρ Π·Π°ΡΠ²ΠΈΠ» ΠΎ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΈ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ, Π΄ΠΎ ΡΠ΅Π»Π΅ Π½Π΅ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, Π² ΡΠΈΡΡΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠ΅ ΡΡΠ΅Π½ΡΠΉ ΡΠΌΠΎΠ³ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Si Π° ΠΆ Π² 1823 Π³ΠΎΠ΄Ρ. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠΎΠ³Π΄Π° Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°Π»ΠΈΡ ΠΈ ΡΡΠΎΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²ΠΎΠΌ Π΄ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ. Π’ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΆΠ΅ Π΅ΠΌΡ ΠΈ ΠΏΡΠΈΡΠ²ΠΎΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Β«Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠΉΒ».
ΠΠ΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Π³ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΡΠ°Π½Π΅Π΅, Π² 1811 Π³ΠΎΠ΄Ρ Si Π² ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ Π΄ΠΎΠ±ΡΡΡ 2 ΡΡΠ΅Π½ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ· Π€ΡΠ°Π½ΡΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π·Π²Π°Π»ΠΈ ΠΡΠΈ ΠΠ°ΠΊ Π’Π΅Π½Π°Ρ ΠΈ ΠΠΎΠ·Π΅Ρ ΠΡΠΈ ΠΠ΅ΠΉ ΠΡΡΡΠ°ΠΊ.
ΠΠ±ΡΠΈΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅
Π Π°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ Π.Π. ΠΠ΅Π½Π΄Π΅Π»Π΅Π΅Π²Π°: Π² ΡΡΠ°ΡΠΎΠΉ Π²Π΅ΡΡΠΈΠΈ β III ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄, III ΡΡΠ΄, IV Π³ΡΡΠΏΠΏΠ°, Π² Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π²Π΅ΡΡΠΈΠΈ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΡ β 14 Π³ΡΡΠΏΠΏΠ°, 3 ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄.
Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°. Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΡΠΌΡ.
ΠΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Ρ
ΡΡΠΏΠΊΠΎΠ΅, Π½ΠΎ Π² ΡΠΎ ΠΆΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠ΅ΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΎΡΠ±Π»Π΅ΡΠΊΠΎΠΌ.
ΠΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π±ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ°.
ΠΠΎΠ΄ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ
ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ (ΠΎΡ 800 Β°Π‘) Si ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΡΠΌ. ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠΏΠΎΠΊΠΎΠΉΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΡΠ΅Π±Ρ ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ Π»ΡΡΠ΅ΠΉ, Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡ 1.1 ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ°.
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Si β ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ. ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ 21-24 Β°Π‘ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Ρ ΡΡΠΎΡΠΎΠΌ (F), ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°Ρ Π»Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΡΠΎΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ SiF4. ΠΡΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ, ΠΎΡ 400 Π΄ΠΎ 500 Β°C Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅Ρ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ (Π), ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°Ρ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ Π±ΡΠΎΠΌΠΎΠΌ (Br), Ρ Π»ΠΎΡΠΎΠΌ (Cl) ΠΈ ΠΉΠΎΠ΄ΠΎΠΌ (I) β Π»Π΅ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΡΠ°Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½ΠΈΠ΄Ρ (SiHal4). ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 1000 Β°C ΡΠΆΠ΅ Π²ΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Ρ Π°Π·ΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°Ρ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ Π°Π·ΠΎΡΠ° Si3N4, ΠΈΠ»ΠΈ Π±ΠΎΡΠΈΠ΄Ρ (SiB3, SiB6, SiB12) ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ Ρ Π±ΠΎΡΠΎΠΌ. Π Π²ΠΎΡ Ρ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Si Π½Π΅ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ.
Si ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π³ΠΎΡΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°Ρ .
ΠΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΠ»Ρ ΠΈ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅
ΠΠ»Ρ ΡΠ΅Π³ΠΎ Π½ΡΠΆΠ΅Π½ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΡ? ΠΠ°ΠΊ ΠΌΡ ΡΠΆΠ΅ ΠΈ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΠ»ΠΈ Π² Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ ΡΡΠ°ΡΡΠΈ, Si ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ Π·Π΄ΠΎΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈ, ΠΊΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΠΎΠ²Π°, Π²ΠΎΠ»ΠΎΡ, Π½ΠΎΠ³ΡΠ΅ΠΉ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΊΡΠΎΠ²Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ².
ΠΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΊΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΠΊΠ°Π½ΡΡ Π²Π·ΡΠΎΡΠ»ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ° 17β 10β4 %, Π² ΠΌΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠΊΠ°Π½ΡΡ β (1-2)β 10β2 %, Π² ΠΊΡΠΎΠ²ΠΈ β 3,9 ΠΌΠ³/Π», Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π³ΠΈΠΏΠΎΡΠΈΠ·Π΅, ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π΅, Π½Π°Π΄ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ , Π½ΠΎΠ³ΡΡΡ ΠΈ Π²ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°Ρ .
Π Π½Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π΅, Π½Π°Π΄ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ , Π³ΠΈΠΏΠΎΡΠΈΠ·Π΅. Π‘Π°ΠΌΠ°Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π° Π² Π²ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°Ρ ΠΈ Π½ΠΎΠ³ΡΡΡ .
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅Ρ ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ, ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ :
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΡΡΡΠΎΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π½ΠΎΡΡΡ
Π‘ΡΡΠΎΡΠ½Π°Ρ Π΄ΠΎΠ·Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π±Π΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΏΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΎΠΏΠ°ΡΠ·Π΅, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Ρ ΠΈΡΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π»Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ°Ρ , Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠ°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌ.
ΠΠ΅Ρ Π²Π°ΡΠΊΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ β ΡΠΈΠΌΠΏΡΠΎΠΌΡ
ΠΠ΅ΡΠΈΡΠΈΡ Si ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ°:
ΠΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π½Π΅Ρ Π²Π°ΡΠΊΠΈ Si
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π΅
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Silicium ΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ :
ΠΠ·Π±ΡΡΠΎΠΊ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
ΠΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΡΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΡΠΌ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Π°.
ΠΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠΈΠΌΠΏΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ:
ΠΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΊΠ° Si Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅
ΠΠ»ΠΎΡΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡΡΡ ΡΡΠΎΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ;
Π Π°Π±ΠΎΡΠ° Π½Π° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Ρ β ΠΏΡΠ»Π΅Π²ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡ Π½Π° ΡΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΠ΅ Π΄ΡΡ Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈ ΠΏΠΈΡΠ΅Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°, Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Ρ Π² ΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ ΠΎΡΠ΅Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΡΠΏΠ°Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ·Π°.
ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
Π ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ?
Π Π°ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ ΠΆΠΈΠ²ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ (ΠΌΠ³ Π½Π° 100 Π³): ΡΠΈΡ (1240), ΠΎΠ²Π΅Ρ (1000), ΠΏΡΠΎΡΠΎ (754), ΡΡΠ½Π΅Π²Π°Ρ ΠΊΡΡΠΏΠ° (600), ΠΊΡΠ½ΠΆΡΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΡ (200), ΡΠΎΡ (177), Π³ΡΠ΅ΡΠΊΠ° (120), Π·Π΅ΠΌΠ»ΡΠ½ΠΈΠΊΠ° (100), Π°Π½Π°Π½Π°Ρ (94), ΡΠ°ΡΠΎΠ»Ρ (92), ΡΠ΅ΠΏΠ° (90), ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ»ΠΎΡΡΡ (90), Π³ΠΎΡΠΎΡ (84), Π΄ΡΠ½Ρ (81), ΡΠ΅ΡΠ΅Π²ΠΈΡΠ° (80), ΡΠ²Π΅ΠΊΠ»Π° (80), Π±Π°Π½Π°Π½ (75), Π°Π²ΠΎΠΊΠ°Π΄ΠΎ (65), ΠΊΡΠΊΡΡΡΠ·Π° (60), Π³ΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΎΡΠ΅Ρ (58), ΠΊΠ°ΠΏΡΡΡΠ° Π±Π΅Π»ΠΎΠΊΠΎΡΠ°Π½Π½Π°Ρ (55), ΠΎΠ³ΡΡΡΡ (50), ΠΊΠ°ΡΡΠΎΡΠ΅Π»Ρ (50), ΡΠΈΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ (50), ΠΏΡΠ΅Π½ΠΈΡΠ° (48), ΠΈΠ½ΠΆΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΠΆΠΈΠΉ (48), Π²ΠΈΡΠ½Ρ (46), ΠΎΠ²ΡΡΠ½ΠΊΠ° (43), ΡΠΏΠΈΠ½Π°Ρ (42), ΠΌΠ°Π»ΠΈΠ½Π° (40), ΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ° (40), ΡΠ΅Π΄ΠΈΡ (30), ΠΏΠ΅ΡΡΡΡΠΊΠ° (30), ΡΠ΅Π»ΡΠ΄Π΅ΡΠ΅ΠΉ (29), ΠΌΠΎΡΠΊΠΎΠ²Ρ (25), ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ Π±ΠΎΠ»Π³Π°ΡΡΠΊΠΈΠΉ (22), ΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΠΊΠ° (20), Π²ΠΈΠ½ΠΎΠ³ΡΠ°Π΄ (12), ΠΏΠ΅ΡΡΠΈΠΊ (10), ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ΄ΠΎΡΡ (10), Π°ΠΏΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ½ (6), Π³ΡΡΡΠ° (6), Π°Π±ΡΠΈΠΊΠΎΡ (6), ΡΠ»ΠΈΠ²Π° (4), Ρ Π²ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ (2,5).
ΠΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ Si ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΠ°ΡΡ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ΄Ρ.
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ (Si): Β«ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉΒ» (ΡΠ°Π±Π»Π΅ΡΠΊΠΈ), MSM ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΠΠΠΠΎΠ².
Π‘ΠΈΠ½ΡΠ΅Π· Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅: Π½Π΅ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ.
ΠΠ·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ
ΠΠΈΠ΄Π΅ΠΎ
ΠΠ±ΡΡΠ΄ΠΈΡΡ S ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»Ρ Π½Π° ΡΠΎΡΡΠΌΠ΅β¦
ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ:
1. Β«ΠΠ±ΠΈΠ»ΠΈΠ΅ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π² ΠΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅: Π½ΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ°Β». ΠΠ²ΡΠΎΡ: Taylor S.R., ΠΡΡΠ½Π°Π» Β«ΠΠ΅ΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡ ΠΈ ΠΠΎΡΠΌΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΒ» 29 ΡΠΎΠΌ, β8, 1964 Π³. Π‘ΡΡΠ°Π½ΠΈΡΡ 1273β1285.
2. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄Π°ΡΠΈΠΈ Π€Π΅Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ ΠΏΠΎ Π½Π°Π΄Π·ΠΎΡΡ Π² ΡΡΠ΅ΡΠ΅ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΏΡΠ°Π² ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ° β2.3.1.1915-04 ΠΎΡ 02.07.2004.
3. Β«ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΠΊΡΠΈΠ²Β» β ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΡ ΠΏΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ
ΡΠ»Π΅Π³ΠΊΠ° Π±Π»Π΅ΡΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ.
(ΠΌΠΎΠ»ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ°)
(ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½)
(ΠΏΠΎ ΠΠΎΠ»ΠΈΠ½Π³Ρ)
ΠΡΠ΅ΜΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Π³ΡΠ΅Ρ. Kremnos β Β«ΡΡΡΡ, Π³ΠΎΡΠ°Β») β Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΌ Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ Π² ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅, ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΌ
(Π»Π°Ρ. Silicium ), ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π».
Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅
ΠΠ°Ρ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°
ΠΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π³ΡΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΡΠΈΠΏΠ° Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°, ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ Π° = 0,54307 Π½ΠΌ (ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ), Π½ΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ SiβSi ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Π‘βΠ‘ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Ρ ΡΡΠΏΠΎΠΊ, ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΡΠ΅ 800 Β°C ΠΎΠ½ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΡΠΌ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ. ΠΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΊ ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Ρ Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ 1.1 ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡ. ΠΠ±Π»Π°Π΄Π°Ρ ΡΠ°ΠΌΡΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ (n = 3,4), ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ, ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ΅ΡΡ Π»ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΎΠ½ Π½Π°ΡΡΠ» ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ (ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²ΠΎΠ², Π±ΠΈΠ½ΠΎΠΊΠ»Π΅ΠΉ Π½ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ, Π² ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π΅ β ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ Π»ΠΈΠ½Π· ΠΈ Ρ.Π΄.)
Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ [1]
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°
ΠΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² 0,15 ΠΌΒ²/ Π² Β·Ρ (ΠΈΠ»ΠΈ 1500 cΠΌΒ²/Π²Β·Ρ ). [3]
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°
Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° Π°ΡΠΎΠΌΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
Π ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ +4 ΠΈΠ»ΠΈ β4, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π»Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ spΒ³-Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»Π΅ΠΉ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΡ , ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (II) SiO, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ΅ΡΡΡΡΡ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ΅Π½.
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ°ΠΊΡΠΈΠ²Π΅Π½. ΠΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Ρ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌ ΡΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π»Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΡΠΎΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ SiF4. ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ 400β500Β°C ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° SiO2, Ρ Ρ Π»ΠΎΡΠΎΠΌ, Π±ΡΠΎΠΌΠΎΠΌ ΠΈ ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠΌ β Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Π»Π΅ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ΅ΡΡΠ°Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½ΠΈΠ΄ΠΎΠ² SiHal4.
ΠΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΠΉΡΡ Π² ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΡΠΈΠ»Π°Π½ SiH4 ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΠΈΠ»Π°Π½ΠΎΠ², Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π΄ΠΈΡΠΈΠ»Π°Π½Π° Si2H6 ΠΈ ΡΡΠΈΡΠΈΠ»Π°Π½Π° Si3H8, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΠ° ΠΈΠ· Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΡΠ·ΡΠΌΠΈ (βSiβSiβSiβ).
Π‘ Π°Π·ΠΎΡΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1000 Β°C ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ Si3N4, Ρ Π±ΠΎΡΠΎΠΌ β ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠ΅ Π±ΠΎΡΠΈΠ΄Ρ SiB3, SiB6 ΠΈ SiB12. Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π±Π»ΠΈΠΆΠ°ΠΉΡΠ΅Π³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³Π° ΠΏΠΎ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ ΠΠ΅Π½Π΄Π΅Π»Π΅Π΅Π²Π° β ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° β ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ SiΠ‘ (ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΎΡΡΠ½Π΄) Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡΡ. ΠΠ°ΡΠ±ΠΎΡΡΠ½Π΄ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π».
ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ. Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Π½Π° Π΄Π²Π΅ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ: ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ (ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΡ , ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ·Π΅ΠΌΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠΏΠ° Ca2Si, Mg2Si ΠΈ Π΄Ρ.) ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ (ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ). Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΡΠ°Π·Π»Π°Π³Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ, ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ Π½Π΅ ΡΠ°Π·Π»Π°Π³Π°ΡΡΡΡ. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ (Π΄ΠΎ 2000 Β°C). ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠ² MeSi, Me3Si2, Me2Si3, Me5Si3 ΠΈ MeSi2. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½Ρ, ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²Ρ ΠΊ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ .
ΠΡΠΈ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ SiO2 ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (II) SiO.
ΠΠ»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Ρ Π² Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΠΈ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠΎΡΡΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° βΠβ, Π° ΠΊ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌΡ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ Π΄Π²ΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π, ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Ρ Π΅ΡΠ΅ Π΄Π²Π° ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΊΠ°Π»Π° R1 ΠΈ R2 = CH3, C2H5, C6H5, CH2CH2CF3 ΠΈ Π΄Ρ.
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅
ΠΠΈΠ½ΠΈ ΠΠΈΠΊΡΠΎΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Π»Π΅Ρ 1993 Π³ΠΎΠ΄Π° Ρ Π£Π€ ΡΡΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠ°ΠΌΡΡΠΈ 62E40 Π΅Π²ΡΠΎΠΏΠ΅ΠΉΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΌΡ STMicroelectronics ΠΠ° ΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅Π½ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΡ β ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° Ρ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π° Π½Π΅ΠΉ ΡΡ Π΅ΠΌΠΎΠΉ.
Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠΈ. ΠΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ β ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠ°, ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΠ°ΡΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠΊΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ°Ρ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠΎΠΊΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΡ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ Π»ΡΡΠ΅ΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ Π»ΠΈΠ½Π·Π°ΠΌ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π», ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°Ρ , ΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΊΠΎΠΏΠ°Ρ ΠΈ Π΄Ρ. ΠΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ) ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π² Ρ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎΠΌ (ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠΉ) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π² ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ . Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ β ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΡΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»ΡΠ΅ΠΌΡΠΌΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ) ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ , ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΄Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² (ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΊ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, Π½Π΅ΠΉΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌ ΠΈ Π΄Ρ.), Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΡΡΠ΄Π° ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅ ΡΡΠ³ΡΠ½Π°, ΡΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, Π±ΡΠΎΠ½Π·, ΡΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π° ΠΈ Π΄Ρ. (ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ). Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ»ΡΠΆΠ°Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ. ΠΠ½Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅Ρ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΡ β ΠΊΠΈΡΠΏΠΈΡ, ΡΠ°ΡΡΠΎΡ, ΡΠ°ΡΠ½Ρ, ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΡ (ΡΠΈΡΠ°Π»Π»Ρ) ΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ .
Π―Π΄Π΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠ°
ΠΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π°
ΠΠΏΡΠΈΠΊΠ°
ΠΠΈΠ½Π·Ρ ΠΈΠ· ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² Π΄Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈΠ΅ Π°ΡΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π»ΠΈΡΡΡ. Π ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΠΌΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Ρ ΠΌΡΠ³ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ. ΠΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π½Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (ΠΠΠ), ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ Π±ΠΈΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ, ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΡΠ°Π³ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ-ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ-ΡΡΠΎΡΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ° ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ° Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ.
ΠΠΈΠ½Π·Π° ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ Π»ΡΡΠ΅ΠΉ
ΠΠΈΠ½Π·Ρ ΠΈΠ· ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠ° ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ β Π»ΠΈΠ½Π·Ρ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ· ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»ΡΡΡΠΈΠ΅ Π₯-Π»ΡΡΠΈ.
Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π°ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ ΠΈΠ· ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ΅, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ²Π΅ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠΈΡ Ρ ΡΠ°ΠΌΡΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡΡΠ½ΡΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ n=3,4 Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΠ-ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ; Π»ΠΈΠ½Π·Ρ ΠΈΠ· ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½Ρ ΠΊ Π₯-Π»ΡΡΠ°ΠΌ ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½Ρ ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»ΡΡΡ, ΡΠΎΠΊΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ (ΠΌΡΠ³ΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΆΡΡΡΠΊΠΈΠ΅ Π₯-Π»ΡΡΠΈ), ΡΡΠΎ Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ, ΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ, Π²ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΡΡ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΡ Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π» ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Β«ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΠ΅Π³ΠΎΒ» ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π₯-Π»ΡΡΠ΅ΠΉ. ΠΠ½ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½Ρ Π² Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ Π±ΠΈΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ, ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΡΠ°Π³ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ-ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ-ΡΡΠΎΡΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ° ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ° Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ. Π§ΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ°ΠΌΡΠΌ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ Π² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΡΠ³ΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ Π»ΠΈΠ½Π·. [5]
ΠΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΠ»Ρ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ
ΡΠ»Π΅Π³ΠΊΠ° Π±Π»Π΅ΡΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ.
(ΠΌΠΎΠ»ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ°)
(ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½)
(ΠΏΠΎ ΠΠΎΠ»ΠΈΠ½Π³Ρ)
ΠΡΠ΅ΜΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Π³ΡΠ΅Ρ. Kremnos β Β«ΡΡΡΡ, Π³ΠΎΡΠ°Β») β Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΌ Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ Π² ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅, ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΠΌΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΌ
(Π»Π°Ρ. Silicium ), ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π».
Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅
ΠΠ°Ρ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°
ΠΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π³ΡΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΡΠΈΠΏΠ° Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°, ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ Π° = 0,54307 Π½ΠΌ (ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ), Π½ΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ SiβSi ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Π‘βΠ‘ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Ρ ΡΡΠΏΠΎΠΊ, ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΡΠ΅ 800 Β°C ΠΎΠ½ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΡΠΌ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ. ΠΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ΅Π½ ΠΊ ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Ρ Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ 1.1 ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡ. ΠΠ±Π»Π°Π΄Π°Ρ ΡΠ°ΠΌΡΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ (n = 3,4), ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ, ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ΅ΡΡ Π»ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΎΠ½ Π½Π°ΡΡΠ» ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ (ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²ΠΎΠ², Π±ΠΈΠ½ΠΎΠΊΠ»Π΅ΠΉ Π½ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ, Π² ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π΅ β ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ Π»ΠΈΠ½Π· ΠΈ Ρ.Π΄.)
Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ [1]
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°
ΠΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² 0,15 ΠΌΒ²/ Π² Β·Ρ (ΠΈΠ»ΠΈ 1500 cΠΌΒ²/Π²Β·Ρ ). [3]
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°
Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° Π°ΡΠΎΠΌΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
Π ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ +4 ΠΈΠ»ΠΈ β4, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π»Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ spΒ³-Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»Π΅ΠΉ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΡ , ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (II) SiO, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ΅ΡΡΡΡΡ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ΅Π½.
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ°ΠΊΡΠΈΠ²Π΅Π½. ΠΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Ρ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌ ΡΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π»Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΡΠΎΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ SiF4. ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ 400β500Β°C ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° SiO2, Ρ Ρ Π»ΠΎΡΠΎΠΌ, Π±ΡΠΎΠΌΠΎΠΌ ΠΈ ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠΌ β Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Π»Π΅ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ΅ΡΡΠ°Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½ΠΈΠ΄ΠΎΠ² SiHal4.
ΠΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΠΉΡΡ Π² ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΡΠΈΠ»Π°Π½ SiH4 ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΠΈΠ»Π°Π½ΠΎΠ², Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π΄ΠΈΡΠΈΠ»Π°Π½Π° Si2H6 ΠΈ ΡΡΠΈΡΠΈΠ»Π°Π½Π° Si3H8, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΠ° ΠΈΠ· Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΡΠ·ΡΠΌΠΈ (βSiβSiβSiβ).
Π‘ Π°Π·ΠΎΡΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1000 Β°C ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ Si3N4, Ρ Π±ΠΎΡΠΎΠΌ β ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠ΅ Π±ΠΎΡΠΈΠ΄Ρ SiB3, SiB6 ΠΈ SiB12. Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π±Π»ΠΈΠΆΠ°ΠΉΡΠ΅Π³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³Π° ΠΏΠΎ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ ΠΠ΅Π½Π΄Π΅Π»Π΅Π΅Π²Π° β ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° β ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ SiΠ‘ (ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΎΡΡΠ½Π΄) Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡΡ. ΠΠ°ΡΠ±ΠΎΡΡΠ½Π΄ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π».
ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ. Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Π½Π° Π΄Π²Π΅ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ: ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ (ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΡ , ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ·Π΅ΠΌΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠΏΠ° Ca2Si, Mg2Si ΠΈ Π΄Ρ.) ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ (ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ). Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΡΠ°Π·Π»Π°Π³Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ, ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ Π½Π΅ ΡΠ°Π·Π»Π°Π³Π°ΡΡΡΡ. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ (Π΄ΠΎ 2000 Β°C). ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠ² MeSi, Me3Si2, Me2Si3, Me5Si3 ΠΈ MeSi2. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½Ρ, ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²Ρ ΠΊ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ .
ΠΡΠΈ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ SiO2 ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (II) SiO.
ΠΠ»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Ρ Π² Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΠΈ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠΎΡΡΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° βΠβ, Π° ΠΊ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌΡ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ Π΄Π²ΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π, ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Ρ Π΅ΡΠ΅ Π΄Π²Π° ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΊΠ°Π»Π° R1 ΠΈ R2 = CH3, C2H5, C6H5, CH2CH2CF3 ΠΈ Π΄Ρ.
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅
ΠΠΈΠ½ΠΈ ΠΠΈΠΊΡΠΎΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Π»Π΅Ρ 1993 Π³ΠΎΠ΄Π° Ρ Π£Π€ ΡΡΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠ°ΠΌΡΡΠΈ 62E40 Π΅Π²ΡΠΎΠΏΠ΅ΠΉΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΌΡ STMicroelectronics ΠΠ° ΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅Π½ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΡ β ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° Ρ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π° Π½Π΅ΠΉ ΡΡ Π΅ΠΌΠΎΠΉ.
Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠΈ. ΠΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ β ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠ°, ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΠ°ΡΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠΊΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ°Ρ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠΎΠΊΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΡ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ Π»ΡΡΠ΅ΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ Π»ΠΈΠ½Π·Π°ΠΌ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π», ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°Ρ , ΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΊΠΎΠΏΠ°Ρ ΠΈ Π΄Ρ. ΠΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ) ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π² Ρ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎΠΌ (ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠΉ) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π² ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ . Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ β ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΡΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»ΡΠ΅ΠΌΡΠΌΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ) ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ , ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΄Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² (ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΊ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, Π½Π΅ΠΉΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌ ΠΈ Π΄Ρ.), Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΡΡΠ΄Π° ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅ ΡΡΠ³ΡΠ½Π°, ΡΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, Π±ΡΠΎΠ½Π·, ΡΠΈΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π° ΠΈ Π΄Ρ. (ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ). Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ»ΡΠΆΠ°Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ. ΠΠ½Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅Ρ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΡ β ΠΊΠΈΡΠΏΠΈΡ, ΡΠ°ΡΡΠΎΡ, ΡΠ°ΡΠ½Ρ, ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΡ (ΡΠΈΡΠ°Π»Π»Ρ) ΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ .
Π―Π΄Π΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠ°
ΠΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π°
ΠΠΏΡΠΈΠΊΠ°
ΠΠΈΠ½Π·Ρ ΠΈΠ· ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² Π΄Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈΠ΅ Π°ΡΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π»ΠΈΡΡΡ. Π ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΠΌΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Ρ ΠΌΡΠ³ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ. ΠΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π½Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (ΠΠΠ), ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ Π±ΠΈΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ, ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΡΠ°Π³ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ-ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ-ΡΡΠΎΡΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ° ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ° Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ.
ΠΠΈΠ½Π·Π° ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ Π»ΡΡΠ΅ΠΉ
ΠΠΈΠ½Π·Ρ ΠΈΠ· ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠ° ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ β Π»ΠΈΠ½Π·Ρ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ· ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»ΡΡΡΠΈΠ΅ Π₯-Π»ΡΡΠΈ.
Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π°ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ ΠΈΠ· ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ΅, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ²Π΅ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠΈΡ Ρ ΡΠ°ΠΌΡΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡΡΠ½ΡΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ n=3,4 Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΠ-ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ; Π»ΠΈΠ½Π·Ρ ΠΈΠ· ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½Ρ ΠΊ Π₯-Π»ΡΡΠ°ΠΌ ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½Ρ ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»ΡΡΡ, ΡΠΎΠΊΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ (ΠΌΡΠ³ΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΆΡΡΡΠΊΠΈΠ΅ Π₯-Π»ΡΡΠΈ), ΡΡΠΎ Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ, ΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ, Π²ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΡΡ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΡ Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π» ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Β«ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΠ΅Π³ΠΎΒ» ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π₯-Π»ΡΡΠ΅ΠΉ. ΠΠ½ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½Ρ Π² Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ Π±ΠΈΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ, ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΡΠ°Π³ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ-ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ-ΡΡΠΎΡΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ° ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ° Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ. Π§ΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ°ΠΌΡΠΌ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ Π² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΡΠ³ΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ Π»ΠΈΠ½Π·. [5]