ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΡΠΎ ΡΡΠΎ Π·Π° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΠΈΠ· ΠΊΠ»Π°ΡΡΠ° ΡΠ°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ². ΠΠ° ΡΠ°ΠΌΠΎΠΌ Π΄Π΅Π»Π΅ ΡΡΠΎ ΡΠ΄ΠΈΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΠΉ Π² ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 27,6% ΠΌΠ°ΡΡΡ Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΡ, Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ Π² ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅. ΠΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠ²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠΈ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·ΡΠΌΠ° β Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, SiO2 (ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ°) ΠΈΠ»ΠΈ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΠ² (SiO4 4- ). Π‘Π°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π» Π±ΡΠ» Π½Π°ΠΉΠ΄Π΅Π½ Π² ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°Ρ Π²ΡΠ»ΠΊΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ΅Π»ΡΡΠ°ΠΉΡΠΈΠ΅ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅.
Π‘Π’Π Π£ΠΠ’Π£Π Π
ΠΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΠΊΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π³ΡΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΡΠΈΠΏΠ° Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°, ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ Π° = 0,54307 Π½ΠΌ (ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ), Π½ΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ SiβSi ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Π‘βΠ‘ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°. ΠΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. Π―Π΄ΡΠ° Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π½Π° Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π·Π°ΡΡΠ΄ΠΎΠΌ 4, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ΅. ΠΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΎΠ½ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Π½Π° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π½Π° Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ΅ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° ΠΈ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°, Π·Π°ΠΈΠΌΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ². ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½ΡΠ»Ρ Π²ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅ΠΊ ΡΡΠ°ΡΡΠ²ΡΡΡ Π² ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΡΠ·ΡΡ . ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ.
Π‘ΠΠΠΠ‘Π’ΠΠ
ΠΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ Π±ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°Π·ΡΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. ΠΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡΡ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ.
ΠΠΠ Π€ΠΠΠΠΠΠ―
Π§Π°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·ΡΠΌΠ° β ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (IV) SiO2 (ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 12 % ΠΌΠ°ΡΡΡ Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΡ). ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»Ρ ΠΈ Π³ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΎΠ΄Ρ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, β ΡΡΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠΎΠΊ (ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΠΉ), ΠΊΠ²Π°ΡΡ ΠΈ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠΈΡΡ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Ρ, ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΏΠ°ΡΡ. ΠΡΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡ.
ΠΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Ρ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΠΊΡΡ Π½Π°Ρ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΠ°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅.
ΠΠ ΠΠΠ‘Π₯ΠΠΠΠΠΠΠ
Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌ 27,6β29,5 % ΠΏΠΎ ΠΌΠ°ΡΡΠ΅. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ Π²ΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π² ΠΌΠΎΡΡΠΊΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ 3 ΠΌΠ³/Π». ΠΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Ρ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΠΊΡΡ Π½Π°Ρ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΠ°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ β ΠΌΠ΅Π»ΡΡΠ°ΠΉΡΠΈΠ΅ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ (Π½Π°Π½ΠΎΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄Ρ) Π² ΠΈΠΉΠΎΠ»ΠΈΡΠ°Ρ ΠΠΎΡΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎ-Π³Π°Π±Π±ΡΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π° (ΠΡΠ·Π½Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΠ»Π°ΡΠ°Ρ, ΠΡΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ°ΠΉ); Π² ΠΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈΠΈ ΠΈ Π½Π° ΠΠΎΠ»ΡΡΠΊΠΎΠΌ ΠΏ-ΠΎΠ²Π΅ (ΠΏΠΎ ΠΌΠ°Ρ. ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΠΎΠ»ΡΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΡ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΊΠ²Π°ΠΆΠΈΠ½Ρ); ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π² ΡΡΠΌΠ°ΡΠΎΠ»Π°Ρ Π²ΡΠ»ΠΊΠ°Π½ΠΎΠ² Π’ΠΎΠ»Π±Π°ΡΠΈΠΊ ΠΈ ΠΡΠ΄ΡΡΠ²ΡΠΉ (ΠΠ°ΠΌΡΠ°ΡΠΊΠ°).
ΠΠ ΠΠΠΠΠΠΠΠ
Π‘Π²Π΅ΡΡ ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² (Π½Π΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡ Π΅ΠΌ) ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ. Π§ΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄Ρ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΡΡΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠΈ.
ΠΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΏΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π» Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ².
Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ β ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ β ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΡΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»ΡΠ΅ΠΌΡΠΌΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ) ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ , ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΄Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² (ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΊ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, Π½Π΅ΠΉΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌ ΠΈ Π΄Ρ.). Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΡΡΠ΄Π° ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ.
Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ»ΡΠΆΠ°Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ. ΠΠ½Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅Ρ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΡ β ΠΊΠΈΡΠΏΠΈΡ, ΡΠ°ΡΡΠΎΡ, ΡΠ°ΡΠ½Ρ ΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ . Π¨ΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ΅Π½ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠ»Π΅ΠΉ, ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ Π² ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²Π΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΈΠΊΠΊΠ°ΡΠΈΠ², Π° Π² ΠΏΠΈΡΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ Π² Π±ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π±ΡΠΌΠ°Π³ΠΈ. ΠΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ»Π° ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Ρ β ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ.
Π’Π΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ:
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ: Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ, ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ
ΠΠ°ΠΊ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΡΠ°Π» ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ΅Π½ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Ρ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π»ΠΈΡΡ Π² 1825 Π³ΠΎΠ΄Ρ. Π§ΡΠΎ, ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎ, Π½Π΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΠ°ΠΊΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΡΠ΅Ρ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ»ΠΈΡΡ ΡΠ΅, Π³Π΄Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ. ΠΠ°Π½Π½Π°Ρ ΡΡΠ°ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ²Π΅Ρ Π½Π° ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΡΠ΅ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΡ ΡΠ°ΡΡΠΊΠ°ΠΆΠ΅ΠΌ ΠΎ ΡΠΎΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π° ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈ ΠΈΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ².
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ
ΠΠ»Ρ Π½Π°ΡΠ°Π»Π° Π΄Π°Π²Π°ΠΉΡΠ΅ ΠΎΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠΌΡΡ Π½Π° ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡ 27,6 Π΄ΠΎ 29,5% ΠΌΠ°ΡΡΡ Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ. Π ΠΌΠΎΡΡΠΊΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΡΠΎΠΆΠ΅ ΠΈΠ·ΡΡΠ΄Π½Π°Ρ β Π΄ΠΎ 3 ΠΌΠ³/Π».
ΠΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² Π»ΠΈΡΠΎΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ Π²ΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½Π°Ρ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠ° β ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·Π΅ΠΌ, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ, ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ.
Π ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΡΠ°ΡΡΠΊΠ°ΠΆΠ΅Ρ ΡΡΠΎΡ Π²ΠΈΠ΄Π΅ΠΎΡΡΠΆΠ΅Ρ:
ΠΠΎΠ½ΡΡΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π», ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡ ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ½ΡΠ΅, ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°. Π―Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΈ ΡΡΠ΅Π·Π²ΡΡΠ°ΠΉΠ½ΠΎ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ΅. Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ Π°Π»Π»ΠΎΡΡΠΎΠΏΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ. Π§Π°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π΄Π΅Π»ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΉ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π΅Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΠΎΡΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π² Π½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Ρ ΠΎΠ·ΡΠΉΡΡΠ²Π΅.
Π Π°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ Π. Π. ΠΠ΅Π½Π΄Π΅Π»Π΅Π΅Π²Π° Π² 6 Π³ΡΡΠΏΠΏΠ΅ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Ρ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π½Π° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Ρ ΡΡΠΈΠΌΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ. Π’Π°ΠΊ, Ρ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π΅Π³ΠΎ Β«ΡΠΎΠ΄Π½ΠΈΡΒ» ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎ ΡΠΈΠΏΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ . ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ²ΠΈΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡΡ , ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π΅.
ΠΠ»ΡΡΡ ΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΡΡΡ
ΠΠ°ΠΊ ΠΈ Π²ΡΡΠΊΠΎΠ΅ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠ΅ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Ρ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π·ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² Π½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Ρ ΠΎΠ·ΡΠΉΡΡΠ²Π΅, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ. ΠΠ°ΠΆΠ½Ρ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
Π Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠ°ΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ½Π΅ΡΡΠΈ Π»ΠΈΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠ΅ΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΠΈ. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π½Π΅ΡΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΉ, Π½ΠΎ Π·Π°ΡΠΎ ΡΡΠΎ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ², ΡΡΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠ°Π²Π°ΠΉΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΠΌ ΠΏΡΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
Π‘Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ
ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΡΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ, ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ Π² ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°Ρ
. Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²Ρ:
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ. Π ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ, ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΈΡΡΡ Π½ΡΠΆΠ½ΡΠΉ ΡΠΈΠΏ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. ΠΡΠΈ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Ρ ΡΡΠΏΠΎΠΊ, Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΡΠ΅ 800 Π‘ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Π° ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ.
Π‘ΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π², Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½Ρ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΠΊΠ΅ Π½ΠΈΠΆΠ΅:
Π‘ΠΎΡΡΠ°Π² ΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π² Π΄Π²ΡΡ Π°Π»Π»ΠΎΡΡΠΎΠΏΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠ°Ρ , ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΎ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅.
ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΈ Π΅ΡΠ΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠΈΠΏ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠΉ Ρ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π² ΡΠΎΠ²ΠΎΠΊΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ. ΠΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ°, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡΡ ΡΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ², Π½ΠΎ ΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΡΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡ β ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠΉ Π΄Π°Π»ΡΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠΊ. Π§Π΅ΠΌ ΠΎΠ½ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ.
ΠΠ°Π»Π΅Π΅ ΠΌΡ ΡΠ°ΡΡΠΊΠ°ΠΆΠ΅ΠΌ Π²Π°ΠΌ ΠΏΡΠΎ ΡΡΡΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π²ΡΠ΅Π΄Π½ΠΎΡΡΡ Π΄ΠΎΠ±ΡΡΠΈ, ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΌΠΈΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±Π°Ρ ΠΈ Π² Π ΠΎΡΡΠΈΠΈ.
ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°
ΠΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅ ΡΠ°ΠΊ ΡΠΆ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ, ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°Ρ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ . Π ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ±Π΅Π³Π°ΡΡ ΠΊ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ· Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π°. ΠΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Π² Π΄ΡΠ³ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 1800 Π‘. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΡΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠΉ Π² 99,9%, ΡΡΠΎ Π΄Π»Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ.
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Ρ Π»ΠΎΡΠΈΡΡΡΡ Ρ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄Ρ ΠΈ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΡ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄Ρ. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠΈΡΠ°ΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΎΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΠΈ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°
ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ. Π‘Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΌΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ. Π’Π°ΠΊ, Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ° Π±ΠΎΡΠ°, Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ, ΠΈΠ½Π΄ΠΈΡ Π΄Π°Π΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π²ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» Ρ Π΄ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ, Π° Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ° β ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±ΡΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΡΠ΅ΡΠ°Ρ Π½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΠΎΠ·ΡΠΉΡΡΠ²Π°. ΠΡΠΈΡΠ΅ΠΌ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ°ΠΌΠΎ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ, Π½ΠΎ Π²ΡΠ΅ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠ°Π½Π½ΠΎΠ΅ Π²ΠΈΠ΄Π΅ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΊΠ°ΠΆΠ΅Ρ ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°Ρ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ:
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ
ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
ΠΡΠ΄ΡΡΠΈ ΡΡΡΠ΄Π΅Π½ΡΠΎΠΌ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ· ΠΌΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ Π²ΡΠ·ΠΎΠ² Ρ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ Β«ΠΠ°Π½ΠΎΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΒ», Ρ Ρ ΠΎΡΠ΅Π» ΠΏΠΎΠ·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌΠΈΡΡ ΡΠ΅Π±Ρ, Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»Ρ, Ρ ΡΠ°ΠΌΡΠΌΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ Π½Π°ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ»Π°Π½Π΅ΡΡ. Π― Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎ Π²ΡΠ±ΠΈΡΠ°Π» Ρ ΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π°ΡΠ°ΡΡ, ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΈ Π²ΡΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΈ ΡΠ΅ΡΠΈΠ» ΠΎΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡΡ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½Π° Si, ΠΏΠΎΡΠΎΠΌΡ ΡΡΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΄ΡΠ΅ Π»ΡΠ±ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π΄ΠΆΠ΅ΡΠ° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½Π° Π½Π΅ΠΌ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ°ΠΊ Π²ΡΡΠ°Π·ΠΈΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎ. ΠΠ·Π»Π°Π³Π°ΡΡ ΠΌΡΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ°ΡΠ°ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΠΈ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΠΎ, Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π² ΡΡΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Ρ ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΡΠ²Π°Π», Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ Π½Π° Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠΊΠΎΠ², Π½ΠΎ ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡΠΎΠ΄Π²ΠΈΠ½ΡΡΡΠ΅ Π»ΡΠ΄ΠΈ ΡΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΏΠ½ΡΡΡ ΡΡΠΎ-ΡΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅, ΡΠ°ΠΊ ΠΆΠ΅ Ρ ΠΎΡΠ΅Π»ΠΎΡΡ Π±Ρ ΡΠΊΠ°Π·Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΡΠ°ΡΡΡ Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΡΠ³ΠΎΠ·ΠΎΡΠ° Π·Π°ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΠ²Π°Π²ΡΠΈΡ ΡΡ. ΠΡΠ°ΠΊ, ΠΏΡΠΈΡΡΡΠΏΠΈΠΌ.
Silicium
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Π»Π°Ρ. Silicium), Si, Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ IV Π³ΡΡΠΏΠΏΡ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΠ΅Π½Π΄Π΅Π»Π΅Π΅Π²Π°; Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΉ Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ 14, Π°ΡΠΎΠΌΠ½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ° 28,086.
Π ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ ΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΡΠΎΠΏΠ°ΠΌΠΈ: 28Si (92,27%), 29Si (4,68%) ΠΈ 30Si (3,05%).
ΠΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ (ΠΏΡΠΈ Π½.Ρ.) 2,33 Π³/ΡΠΌΒ³
Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ 1688 K
ΠΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ Si
ΠΡΡΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²ΠΊΠ°
Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π° Π·Π΅ΠΌΠ»Π΅, Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½Ρ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΡ Ρ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π΅ΠΊΠ°. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΡΡΠ΄ΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΡΡΠ΄Π° ΠΈ ΠΎΡ ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π»ΠΎΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΡΡΡΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΈΠΉ. ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ Ρ ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ, β ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° β Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΎΡΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 3000 Π»Π΅Ρ Π΄ΠΎ Π½. Ρ. (Π² ΠΡΠ΅Π²Π½Π΅ΠΌ ΠΠ³ΠΈΠΏΡΠ΅). Π Π°Π½ΡΡΠ΅ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ β ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ SiO2 (ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·Π΅ΠΌ). Π 18 Π²Π΅ΠΊΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·Π΅ΠΌ ΡΡΠΈΡΠ°Π»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠΌ ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΠ»ΠΈ ΠΊ Β«Π·Π΅ΠΌΠ»ΡΠΌΒ» (ΡΡΠΎ ΠΈ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΎ Π² Π΅Π³ΠΎ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠΈ). Π‘Π»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·Π΅ΠΌΠ° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ» Π. Π―. ΠΠ΅ΡΡΠ΅Π»ΠΈΡΡ. ΠΠ½ ΠΆΠ΅ Π²ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅, Π² 1825, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ» ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ· ΡΡΠΎΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ SiF4, Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠΎΠ²ΠΎΠΌΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ Π±ΡΠ»ΠΎ Π΄Π°Π½ΠΎ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Β«ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠΉΒ» (ΠΎΡ Π»Π°Ρ. silex β ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Ρ). Π ΡΡΡΠΊΠΎΠ΅ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π²Π΅Π» Π. Π. ΠΠ΅ΡΡ Π² 1834.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΠΎΠ±ΡΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ°
Π Π°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅
ΠΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ (ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°) ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ, Π΅Π³ΠΎ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π² Π»ΠΈΡΠΎΡΡΠ΅ΡΠ΅ 29,5% (ΠΏΠΎ ΠΌΠ°ΡΡΠ΅). Π Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ°ΠΊΡΡ ΠΆΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ, ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ Π² ΠΆΠΈΠ²ΠΎΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΌΠΈΡΠ΅. ΠΠ»Ρ Π³Π΅ΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΠΈ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π²Π°ΠΆΠ½Π° ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ½Π°Ρ ΡΠ²ΡΠ·Ρ Π΅Π³ΠΎ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ. ΠΠΊΠΎΠ»ΠΎ 12% Π»ΠΈΡΠΎΡΡΠ΅ΡΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·Π΅ΠΌ SiO2 Π² ΡΠΎΡΠΌΠ΅ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»Π° ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ° ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ. 75% Π»ΠΈΡΠΎΡΡΠ΅ΡΡ ΡΠ»Π°Π³Π°ΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡ (ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΏΠ°ΡΡ, ΡΠ»ΡΠ΄Ρ, Π°ΠΌΡΠΈΠ±ΠΎΠ»Ρ ΠΈ Ρ. Π΄.). ΠΠ±ΡΠ΅Π΅ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»ΠΎΠ², ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·Π΅ΠΌ, ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ 400.
Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
ΠΡΠΌΠ°Ρ ΡΡΡ ΠΎΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΎΡΠΎΠ±ΠΎ Π½Π΅ ΡΡΠΎΠΈΡ, Π²ΡΠ΅ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΡΡ Π² ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ΅, Π° Ρ ΠΆΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ»Ρ ΡΠ°ΠΌΡΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅.
Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΊΠΈΠΏΠ΅Π½ΠΈΡ 2600 Β°Π‘
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π΄Π»Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΡΡ
ΠΠ-Π»ΡΡΠ΅ΠΉ
ΠΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ 11,7
Π’Π²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΠΠΎΠΎΡΡ 7,0
Π₯ΠΎΡΠ΅Π»ΠΎΡΡ Π±Ρ ΡΠΊΠ°Π·Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Ρ
ΡΡΠΏΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π», Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π²ΡΡΠ΅ 800Β°Π‘.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ, ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΎΠ½ Π½Π°Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅. ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ.
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
Π’ΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΊΠ°Π·Π°ΡΡ, Π½ΠΎ ΠΎΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»ΡΡΡ Π½Π° ΡΠ°ΠΌΠΎΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΌ. Π ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΡ
Si (Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Ρ) 4-Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ΅Π½.
ΠΠ° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ
Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ² Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ
ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ
. Π ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Ρ Ρ 400 Β°Π‘, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (IV) SiO2.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ² ΠΊ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ°ΠΌ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΡΡΠΎΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ, Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π³ΠΎΡΡΡΠΈΡ
ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°Ρ
ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ΅ΠΉ Ρ Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ 2 Π³ΡΡΠΏΠΏΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ
ΡΠΈΠ»Π°Π½ΠΎΠ² β ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ°Π½Ρ ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΎΠΊΡΠ΅Π½Ρ. Π‘ Π°Π·ΠΎΡΠΎΠΌ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π²ΡΡΠ΅ 1000 Β°Π‘, ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ Si3N4, Π½Π΅ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΡΡΠΈΠΉΡΡ Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ
Π΅ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ 1200 Β°Π‘, ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ°ΠΌ (ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ) ΠΈ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ°ΠΌ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΊ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌ ΠΈ ΡΠ»Π°ΠΊΠ°ΠΌ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, Π° ΡΠ°ΠΊ ΠΆΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΎΠ³Π½Π΅ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ². ΠΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈ Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡΡ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ (ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ SiC) ΠΈ Ρ Π±ΠΎΡΠΎΠΌ (SiB3, SiB6, SiB12).
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
Π― Π΄ΡΠΌΠ°Ρ ΡΡΠΎ ΡΠ°ΠΌΠ°Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ, ΡΡΡ ΠΎΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠΌΡΡ ΠΏΠΎΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½Π΅Π΅.
Π Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ°ΡΡ:
1. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° (Ρ. Π½. Β«ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΒ») β Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²ΡΡΠ΅ 99,999 % ΠΏΠΎ Π²Π΅ΡΡ, ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π½Π°Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΡ Π² ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡ 0,001 Π΄ΠΎ 150 ΠΠΌβ’ΡΠΌ, Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±ΡΡΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½Π° ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΡ Ρ. Π΅. ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ
ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ, Ρ
ΠΎΡΡ Π±Ρ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΡ
Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π½Π΅Π΄ΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠΌΠΎ.
2. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° (Ρ. Π½. Β«ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΒ») β ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²ΡΡΠ΅ 99,99 % ΠΏΠΎ Π²Π΅ΡΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ (ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ
Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ).
3. Π’Π΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β Π±Π»ΠΎΠΊΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠΊΠ°; ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ 98 % ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½Π°Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡ β ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄, ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² β Π±ΠΎΡΠ°, ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ°, Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ; Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ (95-98%) ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π΄ΡΠ³Π΅ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·Π΅ΠΌΠ° SiO2 ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±ΠΎ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΉΡΠΈΡ
ΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄Π½ΡΡ
ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ·Π²Π»Π΅ΠΊΠ°ΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Β«ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΒ») β Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΈΡΡΠ°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ β ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π±ΡΠΈΠΊΠ°Ρ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΠΌΡΠΉ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ
Π»ΠΎΡΠΈΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ ΠΈ ΡΡΠΎΡΠΈΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΎΠ½ΠΎ- ΠΈ ΠΌΡΠ»ΡΡΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
Π’ΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΈΠ· ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΡΡΡΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π²ΠΎΠ΄Π° Π΅Π³ΠΎ Π² Π»Π΅ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ»Π°Π½Ρ (ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡΠΈΠ»Π°Π½, Ρ
Π»ΠΎΡΡΠΈΠ»Π°Π½Ρ, ΡΡΠΎΡΡΠΈΠ»Π°Π½Ρ) Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡ
ΡΡ ΡΠΈΠ»Π°Π½ΠΎΠ², ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΎΠΉ Π²ΡΠ±ΡΠ°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ»Π°Π½Π° ΠΈ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΈΠ»Π°Π½Π° Π΄ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
Π§ΠΈΡΡΡΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π² Π΄Π²ΡΡ
Π²ΠΈΠ΄Π°Ρ
: ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ (Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ SiCl4 ΠΈΠ»ΠΈ SiHCl3 ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ SiI4 ΠΈ SiH4) ΠΈ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ (Π±Π΅ΡΡΠΈΠ³Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΎΠΉ ΠΈ Β«Π²ΡΡΡΠ³ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌΒ» ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ β ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π§ΠΎΡ
ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ).
Π’ΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π§ΠΎΡ
ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ.
ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ β ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΏΡΡΡΠΌ Π²ΡΡΡΠ³ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΡ Π²Π²Π΅ΡΡ ΠΎΡ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠΌΠ° ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° Ρ ΠΈΠ½ΠΈΡΠΈΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΡΡΠΌ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π°ΡΡΠ°Π²ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° (ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ²) Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ ΡΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°.
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
Π‘ΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ
ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² (ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ, ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΡΠΎΡΡ, ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π²ΡΠΏΡΡΠΌΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠΎΠΊΠ°, ΡΠΈΡΠΈΡΡΠΎΡΡ; ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ Π² ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΊΠΎΡΠ°Π±Π»ΡΡ
, Π° ΡΠ°ΠΊ ΠΆΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΡΠΊΠΎΠΉ Π²ΡΡΡΠΈΠ½Ρ).
ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π΄Π»Ρ Π»ΡΡΠ΅ΠΉ Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΎΡ 1 Π΄ΠΎ 9 ΠΌΠΊΠΌ, Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ Π² ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠ΅.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΈ Π²ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ. Π ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΠΈ Si
ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π² ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ
ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°Ρ
ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° (ΡΠ°ΡΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ).
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΡΠ»Π° ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π° ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ².
ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°ΠΌ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΊ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ, ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΈΡ
Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ; ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΌ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ·Π²Π°ΡΡ Ρ
ΡΡΠΏΠΊΠΎΡΡΡ.
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π½ΡΠ΅, ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΠ΅ ΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·Π΅ΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΡΠ΅ΠΊΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ, ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ, ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ.
Π‘Π²Π΅ΡΡ
ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡΠ½ΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ°) ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ
Π΅ΠΌ.
Π§ΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΎΡΡ
ΠΎΠ΄Ρ ΡΠ²Π΅ΡΡ
ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΡΡΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠΈ.
ΠΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΏΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π» Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ
Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ².
Π‘Π²Π΅ΡΡ
ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΡΡΠ°ΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΡ ΡΠΊΠ΅Π»Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈ ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΠΉ. ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π½Π°ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΡΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄ΠΈΠ°ΡΠΎΠΌΠΎΠ²ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΡΠ»ΠΈ) ΠΈ ΠΆΠΈΠ²ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅ΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π³ΡΠ±ΠΊΠΈ, ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΈ), ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΠΎΡΠΌΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈ Π½Π° Π΄Π½Π΅ ΠΎΠΊΠ΅Π°Π½Π° ΠΌΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΡΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (IV). Π Ρ ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠ·Π΅ΡΠ°Ρ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π±ΠΈΠΎΠ³Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ»Ρ, ΠΎΠ±ΠΎΠ³Π°ΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ, Π² ΡΡΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΎΡΡΡ β ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΈΠ»Ρ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. Π‘ΡΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π°Π·Π΅ΠΌΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π°ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π·Π»Π°ΠΊΠΈ, ΠΎΡΠΎΠΊΠΈ, ΠΏΠ°Π»ΡΠΌΡ, Ρ Π²ΠΎΡΠΈ. Π£ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΆΠΈΠ²ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (IV) Π² Π·ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ 0,1-0,5%. Π Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΊΠ°Ρ , ΠΏΠΎΠ΄ΠΆΠ΅Π»ΡΠ΄ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π΅. Π ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π΅ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ° ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡΡΡ Π΄ΠΎ 1 Π³ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ Π² Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅ ΠΏΡΠ»ΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (IV) ΠΎΠ½Π° ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ Π² Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ° ΠΈ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π·Π°Π±ΠΎΠ»Π΅Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ β ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ·.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Si) β ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅, ΡΠΈΠΌΠΏΡΠΎΠΌΡ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠ°, ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ (Silicium, Si) β Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ°, Π±Π΅Π· ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π³ΡΠ±ΠΊΠΈ ΠΈ Π΄ΠΈΠ°ΡΠΎΠΌΠ΅ΠΈ Π²ΠΎΠΎΠ±ΡΠ΅ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ, Π²Π΅Π΄Ρ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΡ ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈ. ΠΠ°-Π΄Π°, ΠΌΡ ΠΏΡΠΈΠ²ΡΠΊΠ»ΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΡΡΠΈ β ΡΡΠΎ Β«ΠΊΠ°Π»ΡΡΠΈΠΉΒ», Π½ΠΎ ΡΡΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π·Π½Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠ΅ΠΊΠ»Π°ΠΌΡ, Ρ.ΠΊ. Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΊΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ², ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ .
ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ Π·Π΄ΠΎΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠΆΠΈ, Π²ΠΎΠ»ΠΎΡ ΠΈ Π½ΠΎΠ³ΡΠ΅ΠΉ. ΠΠ° ΡΡΠ΅Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΠΊ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ, Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΡΡ ΠΈΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΊΡΡΠΈΠΌΠΈΡΡ Π²ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ, ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΎΠΌΠΊΠΎΡΡΡΡ Π½ΠΎΠ³ΡΠ΅ΠΉ, Π΄ΡΡΠ±Π»ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΆΠ΅ΠΉ ΠΈ ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ°ΠΌ. Π Π΅ΡΠ΅, Si ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠΎΠ²Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ², ΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΄Π΅ΡΠ½ΠΎ-ΡΠΎΡΡΠ΄ΠΈΡΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π·Π½Π΅ΠΉ.
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΆΠ΅ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π»ΡΠ΄Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΈΠΏΠΎΠ² β ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΠΈΠΏΡΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΈΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ. Π‘ΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ, ΠΈ ΡΠ°ΠΌ Π½Π°ΡΡΠ½ΡΠΉ Ρ.Π½. ΡΠ΅Π½ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ°ΠΌ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΊΠ΅ β Β«ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ Π΄ΠΎΠ»ΠΈΠ½Π°Β» (ΠΠ°Π»ΠΈΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ, Π‘Π¨Π).
Π ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΡΠΌΠ΅ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiO2), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π² ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠΈ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ β Β«ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·ΡΠΌΒ» ΠΈΠ»ΠΈ Β«ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡΒ». ΠΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·ΡΠΌ ΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Ρ, ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ°, ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ°ΡΠ° ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΈΡ . Π ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π² ΡΡΠΊΠΈ ΡΡΠ΅Π½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π»ΠΈΡΡ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΊΠ·Π΅ΠΌΠΏΠ»ΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΠ±ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Ρ β ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ½ΡΡΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅ ΡΡΠΎΠΈΡ ΠΏΡΡΠ°ΡΡ. ΠΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΌΠ½Π΅ΠΌ, Π³ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΉ, Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (SiO2) ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ β ΠΊΠ°Π»ΡΡΠΈΠΉ, ΠΌΠ΅Π΄Ρ, ΠΌΠ°ΡΠ³Π°Π½Π΅Ρ, ΡΠΎΡΡΠΎΡ, ΡΠΈΠ½ΠΊ, ΡΡΡΠΎΠ½ΡΠΈΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ΅. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Ρ β ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Π½Ρ, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ· ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ. ΠΡΠΎΠ΄Π΅ Π·Π²ΡΡΠΈΡ Π±Π°Π½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ, Π½ΠΎ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ΅.
ΠΡΠ΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Si Π½Π° ΠΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΉ! ΠΠ°Π΄ΡΠΌΠ°ΠΉΡΠ΅ΡΡ, ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅ (ΠΊΠ»Π°ΡΠΊ) ΠΏΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡ 27,6 Π΄ΠΎ 29,5% Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΌΠ°ΡΡΡ! 1 Π ΠΈΡΠΎΠ³Π΅, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π½Π° ΠΠ΅ΠΌΠ»Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° (Π), Π° Si ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΡΡΠ°Π·Ρ ΠΆΠ΅ Π·Π° Π½ΠΈΠΌ. Π ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΌΠΎΡΡΠΊΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ 3 ΠΌΠ³ Π½Π° 1Π».
Π‘Π°ΠΌΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠ΅ΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π±Π»Π΅ΡΠΊΠΎΠΌ.
Π‘Π²ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Β«Silicium (ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΡΠΌ)Β» ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ» ΠΎΡ Π»Π°ΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠ²Π° Β«silexΒ», ΡΡΠΎ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ β ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Π½Ρ, ΡΠΊΠ°Π»Π°, ΡΡΠ΅Ρ. Π ΡΡΡΠΊΠΈΠΉ ΠΆΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΠ½ Β«ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΒ» ΡΡΠΎΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ Π² 1834 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΡΡΡΡΠΊΠΈΠΌ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΠ΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΎΠΌ ΠΠ΅ΡΡΠΎΠΌ ΠΎΡ ΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ»Π°Π²ΡΠ½ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Β«ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΡΒ», ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°ΡΡΠΈΠΉ β ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Π½Ρ.
ΠΡΡΠΎΡΠΈΡ β ΠΊΡΠ°ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²ΠΊΠ°
ΠΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²ΠΈΠ»ΠΈΡΡ Π² Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ 18 ΡΡ., ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΊ ΠΈΠ· Π¨Π²Π΅ΡΠΈΠΈ ΠΠ΅Π½Ρ Π―ΠΊΠΎΠ± ΠΠ΅ΡΡΠ΅Π»ΠΈΡΡ Π² 1810 Π³ΠΎΠ΄Ρ Π·Π°ΡΠ²ΠΈΠ» ΠΎ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΈ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ, Π΄ΠΎ ΡΠ΅Π»Π΅ Π½Π΅ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, Π² ΡΠΈΡΡΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠ΅ ΡΡΠ΅Π½ΡΠΉ ΡΠΌΠΎΠ³ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Si Π° ΠΆ Π² 1823 Π³ΠΎΠ΄Ρ. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠΎΠ³Π΄Π° Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°Π»ΠΈΡ ΠΈ ΡΡΠΎΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²ΠΎΠΌ Π΄ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ. Π’ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΆΠ΅ Π΅ΠΌΡ ΠΈ ΠΏΡΠΈΡΠ²ΠΎΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Β«Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠΉΒ».
ΠΠ΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Π³ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΡΠ°Π½Π΅Π΅, Π² 1811 Π³ΠΎΠ΄Ρ Si Π² ΡΠΈΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ Π΄ΠΎΠ±ΡΡΡ 2 ΡΡΠ΅Π½ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ· Π€ΡΠ°Π½ΡΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π·Π²Π°Π»ΠΈ ΠΡΠΈ ΠΠ°ΠΊ Π’Π΅Π½Π°Ρ ΠΈ ΠΠΎΠ·Π΅Ρ ΠΡΠΈ ΠΠ΅ΠΉ ΠΡΡΡΠ°ΠΊ.
ΠΠ±ΡΠΈΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅
Π Π°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ Π.Π. ΠΠ΅Π½Π΄Π΅Π»Π΅Π΅Π²Π°: Π² ΡΡΠ°ΡΠΎΠΉ Π²Π΅ΡΡΠΈΠΈ β III ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄, III ΡΡΠ΄, IV Π³ΡΡΠΏΠΏΠ°, Π² Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π²Π΅ΡΡΠΈΠΈ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΡ β 14 Π³ΡΡΠΏΠΏΠ°, 3 ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄.
Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°. Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΡΠΌΡ.
ΠΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Ρ
ΡΡΠΏΠΊΠΎΠ΅, Π½ΠΎ Π² ΡΠΎ ΠΆΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠ΅ΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΎΡΠ±Π»Π΅ΡΠΊΠΎΠΌ.
ΠΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π±ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ°.
ΠΠΎΠ΄ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ
ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ (ΠΎΡ 800 Β°Π‘) Si ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΡΠΌ. ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠΏΠΎΠΊΠΎΠΉΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΡΠ΅Π±Ρ ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ Π»ΡΡΠ΅ΠΉ, Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡ 1.1 ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ°.
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Si β ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ. ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ 21-24 Β°Π‘ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Ρ ΡΡΠΎΡΠΎΠΌ (F), ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°Ρ Π»Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΡΠΎΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ SiF4. ΠΡΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ, ΠΎΡ 400 Π΄ΠΎ 500 Β°C Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅Ρ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ (Π), ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°Ρ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ Π±ΡΠΎΠΌΠΎΠΌ (Br), Ρ Π»ΠΎΡΠΎΠΌ (Cl) ΠΈ ΠΉΠΎΠ΄ΠΎΠΌ (I) β Π»Π΅ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΡΠ°Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½ΠΈΠ΄Ρ (SiHal4). ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 1000 Β°C ΡΠΆΠ΅ Π²ΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Ρ Π°Π·ΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°Ρ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ Π°Π·ΠΎΡΠ° Si3N4, ΠΈΠ»ΠΈ Π±ΠΎΡΠΈΠ΄Ρ (SiB3, SiB6, SiB12) ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ Ρ Π±ΠΎΡΠΎΠΌ. Π Π²ΠΎΡ Ρ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Si Π½Π΅ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ.
Si ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π³ΠΎΡΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°Ρ .
ΠΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΠ»Ρ ΠΈ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅
ΠΠ»Ρ ΡΠ΅Π³ΠΎ Π½ΡΠΆΠ΅Π½ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΡ? ΠΠ°ΠΊ ΠΌΡ ΡΠΆΠ΅ ΠΈ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΠ»ΠΈ Π² Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ ΡΡΠ°ΡΡΠΈ, Si ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ Π·Π΄ΠΎΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈ, ΠΊΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΠΎΠ²Π°, Π²ΠΎΠ»ΠΎΡ, Π½ΠΎΠ³ΡΠ΅ΠΉ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΊΡΠΎΠ²Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ².
ΠΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΊΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΠΊΠ°Π½ΡΡ Π²Π·ΡΠΎΡΠ»ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ° 17β 10β4 %, Π² ΠΌΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠΊΠ°Π½ΡΡ β (1-2)β 10β2 %, Π² ΠΊΡΠΎΠ²ΠΈ β 3,9 ΠΌΠ³/Π», Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π³ΠΈΠΏΠΎΡΠΈΠ·Π΅, ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π΅, Π½Π°Π΄ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ , Π½ΠΎΠ³ΡΡΡ ΠΈ Π²ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°Ρ .
Π Π½Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π΅, Π½Π°Π΄ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ , Π³ΠΈΠΏΠΎΡΠΈΠ·Π΅. Π‘Π°ΠΌΠ°Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π° Π² Π²ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°Ρ ΠΈ Π½ΠΎΠ³ΡΡΡ .
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅Ρ ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ, ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ :
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ β ΡΡΡΠΎΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π½ΠΎΡΡΡ
Π‘ΡΡΠΎΡΠ½Π°Ρ Π΄ΠΎΠ·Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π±Π΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΏΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΎΠΏΠ°ΡΠ·Π΅, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Ρ ΠΈΡΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π»Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ°Ρ , Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠ°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌ.
ΠΠ΅Ρ Π²Π°ΡΠΊΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ β ΡΠΈΠΌΠΏΡΠΎΠΌΡ
ΠΠ΅ΡΠΈΡΠΈΡ Si ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ°:
ΠΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π½Π΅Ρ Π²Π°ΡΠΊΠΈ Si
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π΅
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Silicium ΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ :
ΠΠ·Π±ΡΡΠΎΠΊ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
ΠΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΡΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΡΠΌ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Π°.
ΠΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠΈΠΌΠΏΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ:
ΠΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΊΠ° Si Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅
ΠΠ»ΠΎΡΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡΡΡ ΡΡΠΎΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ;
Π Π°Π±ΠΎΡΠ° Π½Π° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Ρ β ΠΏΡΠ»Π΅Π²ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡ Π½Π° ΡΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΠ΅ Π΄ΡΡ Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈ ΠΏΠΈΡΠ΅Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°, Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Ρ Π² ΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ ΠΎΡΠ΅Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΡΠΏΠ°Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ·Π°.
ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
Π ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ?
Π Π°ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ ΠΆΠΈΠ²ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ (ΠΌΠ³ Π½Π° 100 Π³): ΡΠΈΡ (1240), ΠΎΠ²Π΅Ρ (1000), ΠΏΡΠΎΡΠΎ (754), ΡΡΠ½Π΅Π²Π°Ρ ΠΊΡΡΠΏΠ° (600), ΠΊΡΠ½ΠΆΡΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΡ (200), ΡΠΎΡ (177), Π³ΡΠ΅ΡΠΊΠ° (120), Π·Π΅ΠΌΠ»ΡΠ½ΠΈΠΊΠ° (100), Π°Π½Π°Π½Π°Ρ (94), ΡΠ°ΡΠΎΠ»Ρ (92), ΡΠ΅ΠΏΠ° (90), ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ»ΠΎΡΡΡ (90), Π³ΠΎΡΠΎΡ (84), Π΄ΡΠ½Ρ (81), ΡΠ΅ΡΠ΅Π²ΠΈΡΠ° (80), ΡΠ²Π΅ΠΊΠ»Π° (80), Π±Π°Π½Π°Π½ (75), Π°Π²ΠΎΠΊΠ°Π΄ΠΎ (65), ΠΊΡΠΊΡΡΡΠ·Π° (60), Π³ΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΎΡΠ΅Ρ (58), ΠΊΠ°ΠΏΡΡΡΠ° Π±Π΅Π»ΠΎΠΊΠΎΡΠ°Π½Π½Π°Ρ (55), ΠΎΠ³ΡΡΡΡ (50), ΠΊΠ°ΡΡΠΎΡΠ΅Π»Ρ (50), ΡΠΈΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ (50), ΠΏΡΠ΅Π½ΠΈΡΠ° (48), ΠΈΠ½ΠΆΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΠΆΠΈΠΉ (48), Π²ΠΈΡΠ½Ρ (46), ΠΎΠ²ΡΡΠ½ΠΊΠ° (43), ΡΠΏΠΈΠ½Π°Ρ (42), ΠΌΠ°Π»ΠΈΠ½Π° (40), ΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ° (40), ΡΠ΅Π΄ΠΈΡ (30), ΠΏΠ΅ΡΡΡΡΠΊΠ° (30), ΡΠ΅Π»ΡΠ΄Π΅ΡΠ΅ΠΉ (29), ΠΌΠΎΡΠΊΠΎΠ²Ρ (25), ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ Π±ΠΎΠ»Π³Π°ΡΡΠΊΠΈΠΉ (22), ΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΠΊΠ° (20), Π²ΠΈΠ½ΠΎΠ³ΡΠ°Π΄ (12), ΠΏΠ΅ΡΡΠΈΠΊ (10), ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ΄ΠΎΡΡ (10), Π°ΠΏΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ½ (6), Π³ΡΡΡΠ° (6), Π°Π±ΡΠΈΠΊΠΎΡ (6), ΡΠ»ΠΈΠ²Π° (4), Ρ Π²ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ (2,5).
ΠΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ Si ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΠ°ΡΡ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ΄Ρ.
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ (Si): Β«ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉΒ» (ΡΠ°Π±Π»Π΅ΡΠΊΠΈ), MSM ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΠΠΠΠΎΠ².
Π‘ΠΈΠ½ΡΠ΅Π· Π² ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅: Π½Π΅ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ.
ΠΠ·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ
ΠΠΈΠ΄Π΅ΠΎ
ΠΠ±ΡΡΠ΄ΠΈΡΡ S ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΠ°Π»Ρ Π½Π° ΡΠΎΡΡΠΌΠ΅β¦
ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ:
1. Β«ΠΠ±ΠΈΠ»ΠΈΠ΅ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π² ΠΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠ΅: Π½ΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ°Β». ΠΠ²ΡΠΎΡ: Taylor S.R., ΠΡΡΠ½Π°Π» Β«ΠΠ΅ΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡ ΠΈ ΠΠΎΡΠΌΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΒ» 29 ΡΠΎΠΌ, β8, 1964 Π³. Π‘ΡΡΠ°Π½ΠΈΡΡ 1273β1285.
2. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄Π°ΡΠΈΠΈ Π€Π΅Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ ΠΏΠΎ Π½Π°Π΄Π·ΠΎΡΡ Π² ΡΡΠ΅ΡΠ΅ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΏΡΠ°Π² ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ° β2.3.1.1915-04 ΠΎΡ 02.07.2004.
3. Β«ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΠΊΡΠΈΠ²Β» β ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΡ ΠΏΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ.